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      壓力傳感器芯體

      小尺寸MEMS硅壓阻式高精度壓力傳感器芯體,恒壓恒流供電

      作者:羅工????來源:俊德科技????發布時間:2020-04-04 19:34:57????瀏覽量:

      小尺寸MEMS壓力傳感器芯體
      是基于MEMS(微機電系統)技術的硅壓阻式傳感器,是一款高穩定性,高精度的壓力測量芯體。直徑12.6mm,有帶螺紋接頭選項。

      特點:壓力量程10Kpa-10Mpa,mV輸出,高低溫補償 ,差壓表壓或絕壓。提供恒流供電和恒壓供電兩種模式。

                   Pressure range 10Kpa-10Mpa, mV out put, temperature 

                   compensated, Differential Gage or Absolute

      應用:自動化控制 壓力儀表 液位測量 壓力變送器等

      Applications: Process control,  Pressure instruments, Liquid level, 

                                 Pressure Transducers
       

      恒流源產品技術參數 (激勵電流1.5mA, 25℃下預熱10分鐘)
      參數 最小值 典型值 最大值
      精度(%FS)      
      非線性1   ±0.10 ±0.20
      遲滯2   ±0.05 ±0.10
      重復性3   ±0.05 ±0.10
      輸出(mV)      
      零點輸出 -2 ±1 2
      滿量程輸出(FS) 70    
      溫度特性      
      工作溫度(℃) -40   125
      補償溫度(℃) 100Kpa 0   70
      >100Kpa -10   70
      零點溫度誤差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
      滿量程溫度誤差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
      溫度遲滯(%FS)5   0.1  
      長期穩定性(±%FS/年)      
      零點   0.1  
      滿量程   0.1  
      供電電流(mA) 0.5 1.5 2
      輸入阻抗(kΩ) 2.0 2.5 3
      輸出阻抗(kΩ) 2.5 3.0 3.7
      輸出負載電阻(MΩ)6 5    
      絕緣電阻(MΩ/100V)7 100    

       

      恒壓源產品技術參數(激勵電壓10VDC, 25℃下預熱10分鐘)
      參數 最小值 典型值 最大值
      精度(%FS)      
      非線性1   ±0.10 ±0.20
      遲滯2   ±0.05 ±0.10
      重復性3   ±0.05 ±0.10
      輸出(mV)      
      零點輸出 -2 ±1 2
      滿量程輸出 < 7Mpa 98 100±1 102
      7Mpa 147 150±1.5 153
      溫度特性      
      工作溫度(℃) -40   125
      補償溫度(℃) 100Kpa 0   70
      >100Kpa -10   70
      零點溫度誤差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
      滿量程溫度誤差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
      溫度遲滯(%FS)5   0.1  
      長期穩定性(±%FS/年)      
      零點   0.1  
      滿量程   0.1  
      供電電壓(VDC)   10 14
      輸入阻抗(kΩ) 6.0 8.0 10.0
      輸出阻抗(kΩ) 2.5 3.0 3.7
      輸出負載電阻(MΩ)6 5    
      絕緣電阻(MΩ/100V)7 100    
      壓力量程 0-100Kpa…7Mpa(詳見選型表)
      壓力過載 ≤4Mpa 2倍
      7Mpa 1.5倍
      壓力介質 與316L不銹鋼兼容的液體、氣體和蒸汽


      版權聲明: 本文由 羅工 原創,如果喜歡這篇文章《 小尺寸MEMS硅壓阻式高精度壓力傳感器芯體,恒壓恒流供電》http://www.pocketmacsupport.net/pressure/119.html 請保留本文鏈接。

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